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Asyst新型大气机器人

放大字体  缩小字体 发布日期:2020-02-14  来源:zpwsmile  浏览次数:1799
 Asyst新型大气机器人专为高可靠性而设计

       FREMONT,加利福尼亚州 - Asyst Technologies Inc.今天在这里推出采用直接驱动技术的新型大气晶圆传送机器人,设计非常可靠在半导体工艺工具中。
Axys 407机器人兼容1级洁净室,能够将200毫米或300毫米晶圆从晶圆盒或载体中的任何位置移动到任何加工工具的加工站或加载锁中。凭借其专有的SmartCourse软件,操作员可以指定复杂的机器人运动,并使其能够从两个300毫米的前开口统一吊舱(FOUP)移动晶圆,而无需使用昂贵的水平线性轨道。

       许多老一代机器人采用了皮带和皮带轮驱动部件,可以磨损和滑动。该公司表示,Asyst的Axys 407机器人由一个终生密封的齿轮系统直接驱动,可以减少维护停机时间。此外,该机器人还包含四个主要的现场可更换子组件,与旧机器人设计相比,可将零件总数减少五倍。

       Asyst表示,所有这一切使得Axys 407能够在故障前实现超过1000万次平均周期的可靠性(MCBF)。

       “半导体工厂向更高的自动化迈进制造流程日益复杂,给OEM提供了更大的压力,要求他们提高工具的性能和生产率,“Asyst全球客户运营高级副总裁Dennis Riccio说。 “这反过来推动了对更可靠的机器人的需求,以便在整个晶圆厂加工时将晶圆移入和移出加工工具。”

       Axys 407也是Asyst's的一个组成部分。 Plus Portal是一个交钥匙工具自动化解决方案,可实现OEM生产工具与先进的晶圆厂自动化系统之间的无缝集成。

       Asyst提供Axys 407作为业界最大的产品之一的直接替代品Riccio补充说,常用的上一代晶圆传输机器人。 “我们相信这是半导体设备行业第一次提供此类产品。此外,我们正在与客户密切合作,以确保我们的Axys平台完全集成到他们的工艺工具中,以确保高水平的性能。“

       Axys 407机器人目前正在主要的半导体设备OEM站点进行运输和测试。生产交付计划于本月开始。
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