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川崎机器人 NX540 4轴 用于半导体、有机EL、LCD面板机器人

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品牌: 川崎
单价: 面议
起订: 1 台
供货总量: 10 台
发货期限: 自买家付款之日起 20 天内发货
所在地: 上海
有效期至: 长期有效
最后更新: 2018-06-13 15:27
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产品详细说明
 

NX系列机器人

用于半导体、有机EL、LCD面板

中等伸展距离水平手臂

NX系列无尘机器人被设计为与两个或三个300mm的FOUP配合使用,而不需要使用轨道。NX系列在设计上与NS系列类似,但是附加的独立轴更换了RTZ动作设计,显著增加了NX的运动范围。
卓越的伸展距离
单个的NX系列手臂可以达到2或3个FOUP而不需要线性轴。该手臂被设计为高刚性,以及可以利用窄间距访问晶圆台以及FOUP中的任意位置。
高吞吐量
NX系列实现了利用双臂机械手,如NX520,从FOUP到校准器然后到平台200晶圆每小时(WPH)的吞吐量。
SEMI F47合规
NX型号可以瞬时响应电波动,如电压下降,并且在电压恢复时自动恢复运行。
SEMI S2合规
NX型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。
碰撞检测
软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能,以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。

NX系列机器人规格

型号 NX510 NX520 NX540
构造 水平多关节型
自由度 4 轴 5 轴 4 轴
链接 2 2 3
运动范围 θ 轴
(旋转JT2)
330° 330° 318°
440 mm 440 mm 440 mm
Z 轴
(上下JT3)
832 mm 832 mm 1,232 mm
336° 336° 336°
X 轴  
(前后JT4)
- 336° -
W 轴 - 下
(旋转JT6)
W 轴 - 上
(旋转JT7)
重复性 ± 0.1 mm  (晶圆中心) ±0.25 mm
无尘度*1 ISO 1级
控制柜 D60/D61  (规格见无尘控制柜)

*1: 于川崎的无尘间内测得

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